六氟乙烷

六氟乙烷用途

1.用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂

2.用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。

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六氟乙烷名称

[ CAS 号 ]:
76-16-4

[ 中文名 ]:
六氟乙烷

[ 英文名 ]:
hexafluoroethane

[英文别名 ]:

六氟乙烷物理化学性质

[ 密度 ]:
1,607 g/cm3

[ 沸点 ]:
−78 °C(lit.)

[ 熔点 ]:
−100 °C(lit.)

[ 分子式 ]:
C2F6

[ 分子量 ]:
138.01200

[ 精确质量 ]:
137.99000

[ LogP ]:
2.11100

[ 外观性状 ]:
无色气体

[ 蒸汽密度 ]:
4.7 (vs air)

[ 蒸汽压 ]:
430 psi ( 21 °C)

[ 折射率 ]:
1.202

[ 储存条件 ]:
库房通风低温干燥,与易燃物分开存放

六氟乙烷MSDS

六氟乙烷毒性和生态

CHEMICAL IDENTIFICATION

RTECS NUMBER :
KI4110000
CHEMICAL NAME :
Ethane, hexafluoro-
CAS REGISTRY NUMBER :
76-16-4
BEILSTEIN REFERENCE NO. :
1740328
LAST UPDATED :
199710
DATA ITEMS CITED :
5
MOLECULAR FORMULA :
C2-F6

HEALTH HAZARD DATA

ACUTE TOXICITY DATA

TYPE OF TEST :
LC - Lethal concentration
ROUTE OF EXPOSURE :
Inhalation
SPECIES OBSERVED :
Rodent - rat
DOSE/DURATION :
>20 pph/2H
TOXIC EFFECTS :
Details of toxic effects not reported other than lethal dose value
REFERENCE :
JOCMA7 Journal of Occupational Medicine. (Chicago, IL) V.1-9, 1957-67. For publisher information, see:JJOMDZ Volume(issue)/page/year: 4,262,1962 *** NIOSH STANDARDS DEVELOPMENT AND SURVEILLANCE DATA *** NIOSH OCCUPATIONAL EXPOSURE SURVEY DATA : NOHS - National Occupational Hazard Survey (1974) NOHS Hazard Code - 82200 No. of Facilities: 11 (estimated) No. of Industries: 1 No. of Occupations: 3 No. of Employees: 357 (estimated) NOES - National Occupational Exposure Survey (1983) NOES Hazard Code - 82200 No. of Facilities: 7 (estimated) No. of Industries: 1 No. of Occupations: 1 No. of Employees: 332 (estimated) No. of Female Employees: 184 (estimated)
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六氟乙烷安全信息

[ 危害码 (欧洲) ]:
Xi

[ 安全声明 (欧洲) ]:
S38

[ 危险品运输编码 ]:
UN 2193 2.2

[ WGK德国 ]:
3

[ RTECS号 ]:
KI4110000

[ 危险类别 ]:
2.2

六氟乙烷合成路线

六氟乙烷上下游产品

六氟乙烷制备

以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4、C2F6、C3F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2F6,再用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。

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