六氟-1,3-丁二烯

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更新时间： 2024-01-02 11:27:34

CAS号：685-63-2

常用名： 六氟-1,3-丁二烯

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全氟丁二烯/C4F6

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

C4F6，六氟-1,3-丁二烯
分子量：162.03 g/mol
外观：无色液化气体
熔点：-132℃
沸点：6℃
密度：1.553 g/cm3
水溶性：不溶
用途：最新一代的半导体蚀刻气体，在刻蚀速度及刻蚀选择性上均能满足高速刻蚀的要求。不需要添加额外的辅助性气体如Ar、H2、O2等，在刻蚀过程中CF+/CF2+为主导气体。
产品优势：C4F6在0.13um技术层面有诸多蚀刻上的优点；C4F6有比C4F8更高的对光阻和氮化硅选择比，这是很重要的两个优点。
另外，C4F6的GWP值几乎为0，温室效应系数低，从而降低温室气体的排放。
储存：储存在阴凉通风处，容器保持密闭。储存在原容器中的温度不超过50℃。避免阳光直射。注意不要与氧化剂一起混储。

供应商信息：

公司名：上海宇极赛氟科技有限公司

认证状态： 未认证供应商

商品数： 24件

电话： 021-62456266

地址： 上海市长宁区仙霞路319号2603室

地区： 上海市长宁区

联系人： 邓雅洁

联系人电话： 18160932530

邮件：dyj@yujigroup.com

网址：http://www.yuji-sifluo.com/

主要市场：北美、欧洲、韩国、日本、国内等。

年贸易额：

外贸占销售比例：

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公司介绍：
上海宇极赛氟科技有限公司（简称上海宇极，英文简称Yuji SiFluo）创建于2020年，为泉州宇极新材料科技有限公司全资子公司。上海宇极是技术先进的氟材料与半导体材料企业，专注于氯氟烃（CFCs）替代品、电子气体、电力绝缘气体和高端含氟精细化学品，致力于为客户提供“一站式”产品解决方案。
上海宇极产品主要有新型制冷剂、发泡剂、气雾推进剂、灭火剂、溶剂型清洗剂、电子气体、电力氟材料、含氟流体、锂电池化学品、热泵工质、含氟医药中间体、含氟农药中间体等。目前，集团在氟化工领域申请发明专利80余件，其中已授权专利40余件，已成为含氟化学品研发与生产的科技型创新企业。凭借强大的研发实力、领先的技术水平、卓越的产品品质和良好的售后服务，产品已远销美国、欧盟、日本、韩国以及中东等国家和地区。
上海宇极秉承集团发展理念，以建立可持续发展社会为目标，以增强中国高科技核心竞争力为己任，奉行诚信、创新、以人为本、人尽其材的工作理念，开发省能、环保、节约资源、与人和谐的新型产业。以因势利导，善假于物，执科技发展之牛耳为企业的长期发展策略。

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