三氯化硼
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发布时间： 2024-07-15 12:29:48
CAS号：10294-34-5
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用途： 【用途一】 用作半导体硅的掺杂源，有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取 【用途二】 可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。 【用途三】 主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 物理化学性质： CAS号：10294-34-5 常用中文名：三氯化硼 常用英文名：Boron trichloride 分子式：BCl3 分子量：117.170 密度：1.4±0.1 g/cm3 沸点：12.5±9.0 °C at 760 mmHg 熔点：−107 °C(lit.) 闪点：84 °F 储存条件：库房通风低温干燥,与碱类、H发孔剂分开存放
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