10294-34-5

• 常用中文名：三氯化硼
• 常用英文名：Boron trichloride
• CAS号：10294-34-5
• 分子式：BCl₃
• 分子量：117.170
• 相关类别： 无机化工 无机盐 金属卤化物及卤酸盐 金属氯化物及盐
• 发布时间：2018-06-10 16:20:12
• 更新时间：2026-06-30 22:01:11
• 【用途一】
  用作半导体硅的掺杂源，有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取
  【用途二】
  可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。
  【用途三】
  主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

名称

• 中文名: 三氯化硼
• 英文名: Boron trichloride
• 中文别名: 三氯化硼, 1.0 M 二氯甲烷溶液, J&KSEAL瓶; 三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN XYLENE, SPCSEAL; 三氯化硼 (%于正己烷中, MOL/L); 三氯化硼正己烷溶液; 三氯化硼,1M二氯甲烷溶液; AE标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; CY7标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氟化硼(二氯甲烷溶液); 三氯化硼(1MOL/L二氯甲烷溶液)BORON TRICHLORIDE(1M SOLUTION IN METHYLENE CHLORIDE); PER标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼二氯甲烷溶液; CY5.5标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼 (%于对二甲苯中, .0MOL/L); 三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN HTANE, SPCSEAL; 三氯化硼, 1.0 M 己烷溶液, J&KSEAL瓶; PER-CY5.5标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼,1M的二氯甲烷或者正己烷; 三氯化硼 (%于庚烷溶液, .0MOL/L); 三氯化硼(气体); 三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN HEXANES, SPCSEAL; 三氯化硼庚烷溶液; RBITC标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼,1MCH2CL2溶液(冷库); 三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN P-XYLENE, SPCSEAL; 三氯化硼溶于二氯乙烷; BCL3-2-氯乙醇; 三氯化硼二乙醚溶液; 氯化硼; 三氯化硼,1MCH2CL2溶液; 三氯硼烷, 1M 二氯甲烷溶液, STAB; PE-CY5.5标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼对二甲苯溶液; BF700标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN TOLUENE, SPCSEAL; 三氯化硼(1MOL/L二氯甲烷溶液); BF594标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼-二氯甲烷溶液1M; 三氯化氢甲硫醚络合物; PE-CY5标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; BIOTIN标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; APC-CY5.5标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼/1.0M己烷溶液; 三氯化硼溶液; BF680标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼甲苯溶液; 三氯化硼, 1M 己烷溶液; 三氯硼烷; 电子工业用三氯化硼; 三氯化硼(1MOL二氯甲烷溶液); 三氯化硼四氢呋喃溶液; CY3标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼1,2-二氯乙烷溶液; BF750标记的B细胞淋巴瘤蛋白3抗体; 三氯化硼 (%二氯甲烷溶液, .0MOL/L); 三氯化硼 1.0M 二氯甲烷溶液; 三氯化硼二氯甲烷溶液,1MOL/L; 三氯化硼溶液(正己烷溶液)
• 英文别名: Boron trichloride, , 1M solution in methylene chloride; Boron trichloride solution 1.0 M in p-xylene; Boron trichloride, 1M soln. in dichloroMethane, stab; trichloro-borane; Boron trichloride, 1.0 M solution in CH2Cl2, J&KSeal; Boron trichloride, 1M soln. in hexane; Boron trichloride, 1M solution in hexane; chloruredebore; MFCD00011313; boron chloride; Boron trichL; Boron Trichloride (ca. in DichloroMethane, ca. 1.0Mol/L); BCl3 (1 mol/L) in dichloromethane as solvent; Boron trichloride solution 1.0 M in htane; Boron trichloride,1M (10 wt.%) sol. in 2-chloroethanol; Borane,trichloro; Boron trichloride1M solution in hexaneAcroSeal§3; Boron trichloride, 1.0 M solution in htane, SpcSeal; Boron trichloride, stab., 1M sol. in methylene chloride, AcroSeal; Boron trichloride solution 1.0 M in toluene; Boron Trichloride (ca. in Htane, ca. 1.0Mol/L); Boron trichloride solution 1.0 in methylene chloride; Boron trichloride , [1 M in Methylene chloride]; Trona boron trichloride; Boron trichloride, 1.0 M solution in hexanes, SpcSeal; Boron trichloride solution 1.0 in p-xylene; Boron trichloride solution 1.0 M in hexanes; boric trichloride; BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN DICH LOROMETHANE; Boron trichloride solution 1.0 M in Methylene chloride; BORON TRICHLORIDE, 1.0 M SOLUTION IN TO&; Borontrichloride; Boron Trichloride (ca. in p-Xylene, ca. 1.0mol/L); Boron trichloride solution 1.0 in hexanes; Boron trichloride solution 10t. % in 2-chloroethanol; Boron trichloride, 1M (10 wt.%) sol. in 2-chloroethanol, AcroSeal; Boron trichloride, 1.0 M solution in toluene, SpcSeal; BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN HEXA NES; Boron trichloride, 1.0 M solution in hexanes, J&KSeal; Trichloroborane; Boron trichloride [1M solution in methylene chloride]; BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN HT ANE; Boron trichloride, 1M solution in Methylene chloride, AcroSeal; BORON TRICHLORIDE; Boron trichloride solution 1.0 in htane; Boron chloride (BCl3); BCl3; trichloro-boran; Boron trichloride,stab., 1M sol. in methylenechloride; BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN P-XY LENE; Boron chloride; BORON TRICHLORIDE ELECTRONIC; Boron trichloride, 1M solution in hexane, AcroSeal; trichloro-Boron; boron trichloride for electonic industry; BORON TRICHLORIDE, 10 WT. % SOLUTION IN 2-CHLOROETHANOL; BORON TRICHLORIDE CYL. WITH (~NET); Boron Trichloride (ca. in Toluene, ca. 1.0mol/L); Boron Trichloride - 2-Chloroethanol [for Esterification] (1ml*10); Trichloroboron; Boron trichloride, 1.0 M solution in p-xylene, SpcSeal; EINECS 233-658-4; Boron trichloridestab.1M sol. in methylene chlorideAcroSeal§3; BORON TRICHLORIDE SOLUTION, ~1 M IN DICH LOROMETHANE

物化性质

• 密度: 1.4±0.1 g/cm3
• 沸点: 12.5±9.0 °C at 760 mmHg
• 熔点: −107 °C(lit.)
• 分子式: BCl₃
• 分子量: 117.170
• 闪点: 84 °F
• 精确质量: 115.915863
• LogP: 3.12
• 外观性状: 透明无色液体或气体,空气中的烟雾
• 蒸汽密度: 4.05 (vs air)
• 蒸汽压: 1179.4±0.0 mmHg at 25°C
• 折射率: 1.389
• 储存条件:

  储存注意事项 储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。保持容器密封。应与氧化剂、碱类、醇类、碱金属等分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

• 稳定性:

  1.遇水分解生成氯化氢和硼酸，并放出大量热量。在湿空气中因水解而生成烟雾。三氯化硼反应能力较强，能形成多种配位化合物，具有较高的热力学稳定性，但在放电作用下，会分解形成低价的氯化硼。在大气中，三氯化硼加热能和玻璃、陶瓷起反应，也能和许多有机物反应形成各种有机硼化合物。

  2.稳定性稳定

  3.禁配物水、碱、醇类、碱金属、强氧化剂

  4.避免接触的条件潮湿空气

  5.聚合危害 不聚合

• 水溶解性: decomposes
• 分子结构:

  1、摩尔折射率：20.02

  2、摩尔体积（cm³/mol）：84.6

  3、等张比容（90.2K）：184.4

  4、表面张力（dyne/cm）：22.5

  5、介电常数：无可用的

  6、极化率（10^-24cm³）：7.93

  7、单一同位素质量：115.915864 Da

  8、标称质量：116 Da

  9、平均质量：117.17 Da

• 计算化学:

  1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无

  2.氢键供体数量:0

  3.氢键受体数量:0

  4.可旋转化学键数量:0

  5.互变异构体数量:无

  6.拓扑分子极性表面积0

  7.重原子数量:4

  8.表面电荷:0

  9.复杂度:8

  10.同位素原子数量:0

  11.确定原子立构中心数量:0

  12.不确定原子立构中心数量:0

  13.确定化学键立构中心数量:0

  14.不确定化学键立构中心数量:0

  15.共价键单元数量:1

• 更多:

  1.性状：无色发烟液体或气体，有强烈臭味，易潮解。

  2.熔点（℃）：-107

  3.沸点（℃）：12.5

  4.相对密度（水=1）：1.35

  5.相对蒸气密度（空气=1）：4.03

  6.饱和蒸气压（kPa）：150（20℃）

  7.临界温度（℃）：178

  8.临界压力（MPa）：3.9

  9.辛醇/水分配系数：1.16

  10.溶解性：用作半导体硅的掺杂源或有机合成催化剂，还用于高纯硼或有机硼化合物的制取。

MSDS

第一部分：化学品名称 化学品中文名称: 三氯化硼 化学品英文名称: boron trichloride 中文名称 2: 氯化硼 英文名称 2: boron chloride 技术说明书编码: 72 CAS No.: 10294-34-5 分子式: BCl3 分子量: 117.19 第二部分：成分 / 组成信息 有害物成分: 三氯化硼 CAS No.: 10294-34-5 第三部分：危险性概述 健康危害: 吸入、口服或经皮肤吸收对身体有害。可引起化学灼伤。对眼睛、皮肤、粘膜和上呼吸道有强烈的腐蚀作用。吸入后可因喉、支气管的痉挛、水肿，化学性肺炎、肺水肿而致死。中毒表现有烧灼感、咳嗽、喘息、喉炎、气短、头痛、恶心和呕吐。慢性影响：具有神经毒性。 燃爆危险: 本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。 第四部分：急救措施 皮肤接触: 立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少 15 分钟。就医。 眼睛接触: 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少 15 分钟。就医。 吸入: 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 食入: 用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。 第五部分：消防措施 危险特性: 化学反应活性很高，遇水发生爆炸性分解。与铜及其合金有可能生成具有爆炸性的氯乙炔。遇潮气时对大多数金属有强腐蚀性，也能腐蚀玻璃等。在潮湿空气中可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾。 有害燃烧产物: 氯化氢、氧化硼。 灭火方法: 本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：砂土。禁止用水和泡沫灭火。 第六部分：泄漏应急处理 应急处理: 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离 150m ，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服。尽可能切断泄漏源。若是气体，合理通风，加速扩散。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。若是液体，用砂土、蛭石或其它惰性材料吸收。若大量泄漏，构筑围堤或挖坑收容。喷雾状水冷却和稀释蒸汽，保护现场人员，但不要对泄漏点直接喷水。用防爆泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。 第七部分：操作处置与储存 操作注意事项: 密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶手套。防止气体或蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、醇类、碱金属接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。 储存注意事项: 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 10 ℃。保持容器密封。应与氧化剂、碱类、醇类、碱金属等分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 第八部分：接触控制 / 个体防护 中国 MAC(mg/m3): 未制定标准 前苏联 MAC(mg/m3): 10 TLVTN: 未制定标准 TLVWN: 未制定标准 工程控制: 密闭操作，局部排风。 呼吸系统防护: 空气中浓度超标时，佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器。 眼睛防护: 呼吸系统防护中已作防护。 身体防护: 穿橡胶耐酸碱服。 手防护: 戴橡胶手套。 其他防护: 工作完毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。 第九部分：理化特性 主要成分: 纯品 外观与性状: 无色发烟液体或气体，有强烈臭味，易潮解。 熔点 ( ℃ ): -107.3 沸点 ( ℃ ): 12.5 相对密度 ( 水 =1): 1.43 相对蒸气密度 ( 空气 =1): 4.03 饱和蒸气压 (kPa): 101.32(12.5℃) 燃烧热 (kJ/mol): 无意义 临界温度 ( ℃ ): 无资料 临界压力 (MPa): 无资料 辛醇 / 水分配系数的对数值: 无资料 闪点 ( ℃ ): 无意义 引燃温度 ( ℃ ): 无意义 爆炸上限 %(V/V): 无意义 爆炸下限 %(V/V): 无意义 溶解性: 溶于苯、二硫化碳。 主要用途: 用作半导体硅的掺杂源或有机合成催化剂，还用于高纯硼或有机硼的制取。 第十部分：稳定性和反应活性 禁配物: 水、碱、醇类、碱金属、强氧化剂。 第十一部分：毒理学资料 急性毒性: LD50 ：无资料; LC50 ： 12171mg/m3 ， 1 小时 ( 大鼠吸入 ) 第十二部分：生态学资料 其它有害作用: 无资料。 第十三部分：废弃处置 废弃处置方法: 处置前应参阅国家和地方有关法规。废气直接排入大气。 第十四部分：运输信息 危险货物编号: 22023 UN 编号: 1741 包装类别: O53 包装方法: 钢质气瓶；安瓿瓶外普通木箱。 运输注意事项: 铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与氧化剂、碱类、醇类、碱金属、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。 第十五部分：法规信息 法规信息: 化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.2 类不燃气体。

毒性和生态

毒理学数据: 1 、 试验方法：吸入 摄入剂量： 2541 ppm/1H 测试对象：啮齿动物-鼠 毒性类型：急性 毒性作用： 详细的毒副作用没有报告以外的其他致死剂量值 2 、 试验方法：吸入 摄入剂量： 20 ppm/7H 测试对象：啮齿动物-鼠 毒性类型：急性 毒性作用： 1.肺，胸部或呼吸-其他变化 2.皮肤和附件-皮炎，其他（后全身暴露） 3.营养和总代谢-体重减轻或减少体重增加 3 、 试验方法：吸入 摄入剂量： 1650 mg/m3 测试对象：哺乳动物-物种不详 毒性类型：急性 毒性作用： 详细的毒副作用没有报告以外的其他致死剂量值 4 、 试验方法：吸入 摄入剂量： 660 mg/m3/3W-I 测试对象：啮齿动物-鼠 毒性类型： MutipleDose 毒性作用： 有关慢性数据-死亡 大鼠吸入1h LC50：1271mg/m3。三氯化硼是一种腐蚀性液体，接触时能刺激眼睛、皮肤和呼吸系统，液体能灼伤眼睛和皮肤。操作人员必须穿戴特殊的全身防护服，若皮肤、眼睛等不慎接触，立刻用水冲洗，如有灼伤送医院救治。 5.急性毒性 LC50：12171mg/m^3（大鼠吸入，1h） 生态学数据: 该物质对环境可能有危害，对水体应给予特别注意。 CHEMICAL IDENTIFICATION RTECS NUMBER : ED1925000 CHEMICAL NAME : Borane, trichloro- CAS REGISTRY NUMBER : 10294-34-5 LAST UPDATED : 199701 DATA ITEMS CITED : 5 MOLECULAR FORMULA : B-Cl3 MOLECULAR WEIGHT : 117.16 WISWESSER LINE NOTATION : GBGG HEALTH HAZARD DATA ACUTE TOXICITY DATA TYPE OF TEST : LC50 - Lethal concentration, 50 percent kill ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - rat DOSE/DURATION : 2541 ppm/1H TOXIC EFFECTS : Details of toxic effects not reported other than lethal dose value REFERENCE : TXAPA9 Toxicology and Applied Pharmacology. (Academic Press, Inc., 1 E. First St., Duluth, MN 55802) V.1- 1959- Volume(issue)/page/year: 42,417,1977 TYPE OF TEST : LCLo - Lowest published lethal concentration ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - mouse DOSE/DURATION : 20 ppm/7H TOXIC EFFECTS : Lungs, Thorax, or Respiration - other changes Skin and Appendages - dermatitis, other (after systemic exposure) Nutritional and Gross Metabolic - weight loss or decreased weight gain REFERENCE : 14KTAK "Boron, Metallo-Boron Compounds and Boranes," Adams, R.M., ed., New York, John Wiley & Sons, Inc., 1964 Volume(issue)/page/year: -,693,1964 *** NIOSH STANDARDS DEVELOPMENT AND SURVEILLANCE DATA *** NIOSH OCCUPATIONAL EXPOSURE SURVEY DATA : NOHS - National Occupational Hazard Survey (1974) NOHS Hazard Code - 12970 No. of Facilities: 15 (estimated) No. of Industries: 2 No. of Occupations: 3 No. of Employees: 367 (estimated) NOES - National Occupational Exposure Survey (1983) NOES Hazard Code - 12970 No. of Facilities: 70 (estimated) No. of Industries: 6 No. of Occupations: 6 No. of Employees: 1125 (estimated) No. of Female Employees: 613 (estimated)

安全

• 符号: GHS05, GHS06, GHS08
• 信号词: Danger
• 危害声明: H301 + H331-H314-H335-H336-H351-H373
• 补充危害声明: Reacts violently with water.
• 警示性声明: P261-P280-P301 + P310-P305 + P351 + P338-P310
• 靶器官: Blood, Central nervous system, Liver
• 个人防护装备: Faceshields;full-face respirator (US);Gloves;Goggles;multi-purpose combination respirator cartridge (US);type ABEK (EN14387) respirator filter
• 危害码 (欧洲): F:Flammable;T+:Verytoxic;N:Dangerousfortheenvironment;
• 风险声明 (欧洲): R11;R14;R26/28;R34;R48/20;R51/53;R62;R65;R67
• 安全声明 (欧洲): S9-S26-S28-S36/37/39-S45-S8-S61-S38-S28A-S16-S1-S60-S33-S23-S7/9-S62
• 危险品运输编码: UN 3390 6.1/PG 1
• WGK德国: 3
• RTECS号: ED1925000
• 危险类别: 2.3
• 海关编码: 2812104900

合成路线

上下游产品

上游产品  10
13701-67-2 10325-39-0 7446-70-0 7637-07-2
6569-51-3 30624-33-0 10294-33-4 19287-45-7
7782-50-5 856314-93-7
下游产品  9
10388-28-0 17927-57-0 208246-75-7 107134-81-6
10311-59-8 16339-28-9 3282-30-2 55718-76-8
16339-30-3

制备

1.氟硼酸钾、硼酐、硫酸法 将氟硼酸钾和硼酐一起研磨均匀，按一定的配料比加入反应器中，再加入浓硫酸，不断搅拌，使固体和液体混合均匀，逐渐加热，到一定程度便有氟化硼产生。在温度达到40 ℃左右时，反应物开始沸腾，当温度达到93～130 ℃时，产生的气体最多。生成的氟化硼气体净化后进入收集器中。其反应式如下：

将干燥的元素硼粉放入管式反应炉的反应管里，先用惰性气体排除空气，然后加热300℃，通入少量氯气，在温度达到650℃时，大量通入氯气，在温度控制在650-750℃。生成的三氯化硼由接收器用于冰冷却收集，再经精馏，制得三氯化硼成品。其反应式如下：

将精制三氯化硼为原料，通过吸附和蒸馏的方法进行提纯，制得高纯度三氯化硼。

海关

海关编码	2812104900