乙硅烷

1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。

3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

[ 密度 ]:
0.686 g/cm3

[ 沸点 ]:
-14.5±9.0 °C at 760 mmHg

[ 熔点 ]:
-132.6ºC

[ 分子式 ]:
H₆Si₂

[ 分子量 ]:
62.219

[ 闪点 ]:
<10°C

[ 精确质量 ]:
62.000801

[ 外观性状 ]:
无色气体带有一种恶臭的气味

[ 蒸汽压 ]:
2940.2±0.0 mmHg at 25°C

[ 稳定性 ]:
Pyrophoric. Reacts violently with oxidizers and halogens. May form explosive mixtures with air.

[ 水溶解性 ]:
soluble CS2, ethanol, benzene [MER06]

详细MSDS(安全技术说明书)

[ 符号 ]:

GHS02, GHS04, GHS07, GHS08

[ 信号词 ]:
Danger

[ 危害声明 ]:
H220-H280-H312-H315-H319-H332-H334-H335

[ 警示性声明 ]:
P210-P261-P280-P305 + P351 + P338-P342 + P311-P410 + P403

[ 个人防护装备 ]:
Eyeshields;Faceshields;Gloves;half-mask respirator (US);multi-purpose combination respirator cartridge (US)

[ 危害码 (欧洲) ]:
F,Xn

[ 风险声明 (欧洲) ]:
R17

[ 安全声明 (欧洲) ]:
S16-S24-S26-S36-S37-S39

[ 危险品运输编码 ]:
UN 2203

[ 危险类别 ]:
2.1

1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。

2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。

3.采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。

J. Appl. Physiol. 81 , 205, (1997)

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联系人：徐经理

产品详情：乙硅烷

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