二氯硅烷结构式
|
常用名 | 二氯硅烷 | 英文名 | Dichlorosilane |
---|---|---|---|---|
CAS号 | 4109-96-0 | 分子量 | 101.00700 | |
密度 | 1,22 g/cm3 | 沸点 | 8.3 °C(lit.) | |
分子式 | Cl2H2Si | 熔点 | −122 °C(lit.) | |
MSDS | 中文版 美版 | 闪点 | -37°C | |
符号 |
GHS02, GHS05, GHS06 |
信号词 | Danger |
二氯硅烷用途【用途一】 用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅 【用途二】
用于半导体制造中,尤其是外延法工艺作为硅源。 更多
|
中文名 | 二氯硅烷 |
---|---|
英文名 | dichlorosilicon |
中文别名 | 三氯矽烷 |
英文别名 | 更多 |
密度 | 1,22 g/cm3 |
---|---|
沸点 | 8.3 °C(lit.) |
熔点 | −122 °C(lit.) |
分子式 | Cl2H2Si |
分子量 | 101.00700 |
闪点 | -37°C |
精确质量 | 99.93030 |
LogP | 0.46280 |
外观性状 | 无色气体 |
蒸汽密度 | 3.5 (vs air) |
蒸汽压 | 1254 mm Hg ( 20 °C) |
储存条件 | 储存注意事项储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。库温不宜超过30℃。远离火种、热源。包装必须密封,切勿受潮。应与氧化剂、碱类、醇类、食用化学品分开存放,切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄露应急处理设备。 |
稳定性 | 1.稳定性 稳定 2.禁配物 强碱、水、醇类、强酸、强氧化剂、卤素 3.避免接触的条件 潮湿空气 4.聚合危害 不聚合 |
水溶解性 | decomposes |
分子结构 | 1、摩尔折射率:无可用的 2、摩尔体积(cm3/mol):无可用的 3、等张比容(90.2K):无可用的 4、表面张力(dyne/cm):无可用的 5、介电常数:无可用的 6、极化率:无可用的 7、单一同位素质量:99.930281 Da 8、标称质量:100 Da 9、平均质量:101.0074 Da |
计算化学 | 1.疏水参数计算参考值(XlogP):无 2.氢键供体数量:0 3.氢键受体数量:0 4.可旋转化学键数量:0 5.互变异构体数量:无 6.拓扑分子极性表面积0 7.重原子数量:3 8.表面电荷:0 9.复杂度:2.8 10.同位素原子数量:0 11.确定原子立构中心数量:0 12.不确定原子立构中心数量:0 13.确定化学键立构中心数量:0 14.不确定化学键立构中心数量:0 15.共价键单元数量:1 |
更多 | 1.性状:无色气体,有特征气味。 2.熔点(℃):-122 3.沸点(℃):8.3 4.相对密度(水=1):1.26 5.相对蒸气密度(空气=1):3.48 6.饱和蒸气压(kPa):163.6(20℃) 7.临界压力(Mpa):4.55 8.辛醇/水分配系数:1.150 9.闪点(℃):-55 10.引燃温度(℃):41~47 11.爆炸上限(%):96.0 12.爆炸下限(%):4.1 13.溶解性:溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。 |
|
二氯硅烷毒理学数据: 1.急性毒性 暂无资料 2.刺激性 家兔经眼:5mg(30s),轻度刺激。 3.其他 大鼠吸入氯化氢LC50:3124ppm(60min),4701ppm(30min)。 人吸入氯化氢LCLo:1300ppm(30min),3000ppm(5min)。 二氯硅烷生态学数据: 1.生态毒性 暂无资料 2.生物降解性 暂无资料 3.非生物降解性 暂无资料 |
符号 |
GHS02, GHS05, GHS06 |
---|---|
信号词 | Danger |
危害声明 | H220-H280-H314-H331 |
补充危害声明 | Reacts violently with water. |
警示性声明 | P210-P261-P280-P305 + P351 + P338-P310-P410 + P403 |
个人防护装备 | Faceshields;Gloves;Goggles;half-mask respirator (US);multi-purpose combination respirator cartridge (US) |
危害码 (欧洲) | F+: Highly flammable;T: Toxic; |
风险声明 (欧洲) | R12;R14;R23;R34 |
安全声明 (欧洲) | S26-S36/37/39-S45 |
危险品运输编码 | UN 2189 2.3 |
WGK德国 | 1 |
RTECS号 | VV3050000 |
危险类别 | 2.3 |
二氯硅烷上游产品 10 | |
---|---|
二氯硅烷下游产品 10 | |
1.将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应,生成二氯二氢硅,经蒸馏分离三氯氢硅,把得到的二氯二氢硅进行精制,制得电子级高纯二氯二氢硅成品。
2.将27.1g SiHCl3与3.7g Bu3N在常压下回流40h,即得到产品。产物用置于干冰浴上的接收器收集。产率可达到7.3%。
3.将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应,生成二氯二氢硅,经蒸馏分离三氯氢硅,将得到的二氯二氢硅进行精制,制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其反应式如下:
Microfabrication, separations, and detection by mass spectrometry on ultrathin-layer chromatography plates prepared via the low-pressure chemical vapor deposition of silicon nitride onto carbon nanotube templates.
J. Chromatogr. A. 1404 , 115-23, (2015) Microfabrication of ultrathin-layer chromatography (UTLC) plates via conformal deposition of silicon nitride by low-pressure chemical vapor deposition onto patterned carbon nanotube (CNT) scaffolds wa... |
|
Plasma-enhanced modification of xanthan gum and its effect on rheological properties.
J. Agric. Food Chem. 53(9) , 3618-25, (2005) The structure and rheological properties of xanthan gum (XG) modified in a cold plasma environment were investigated. XG was functionalized in a capacitively coupled 13.56-MHz radio frequency dichloro... |
|
Evaluation of polymers based on a silicone backbone as pseudostationary phases for electrokinetic chromatography.
Electrophoresis 20(12) , 2412-9, (1999) The feasibility of polymeric phases based on a silicone polymer backbone as pseudostationary phases for electrokinetic chromatography has been investigated. Silicone phases were studied because of the... |
dichlordisilane |
SiCl2 |
dihydridodichlorosilane |
MFCD00011600 |
dichloro-silane |
Silane,dichloro |
dichloromonosilane |
bis chlorosilane |
EINECS 223-888-3 |
Silicon chloride hydride |
dihydrogendichlorosilane |